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回彈式位移傳感器(Spring-Loaded Displacement Transducer)是一種通過機械回彈機構保持恒定測量力的接觸式位移測量裝置。其核心特征為:
彈性加載機制:內置精密彈簧系統,提供0.1-10N可調的恒定接觸力
動態跟隨特性:響應速度可達1m/s,加速度耐受>50g
三維適應性:允許±15°的測量角度偏差
機械傳導系統
探針機構:紅寶石/碳化鎢測頭(硬度>2000HV)
彈性元件:特種彈簧鋼(疲勞壽命>10?次)
導向機構:空氣軸承/精密滾珠導軌(摩擦<0.001N)
信號轉換鏈
機械位移 → 彈性變形 → 應變片/電感變化 → 電信號 → 數字輸出 (±10mm) (0.1%非線性) (0.01%分辨率) (24位ADC)
參數 | 工業級 | 精密級 | 測試標準 |
---|---|---|---|
量程 | ±15mm | ±5mm | ISO 9513 |
線性度 | 0.1%FS | 0.01%FS | DIN 862 |
重復性 | 1μm | 0.1μm | VDI/VDE 2617 |
接觸力 | 0.5±0.1N | 0.2±0.02N | ISO 376 |
接觸模塊
測頭:金剛石涂層(摩擦系數<0.1)
緩沖機構:液壓阻尼(響應時間<1ms)
傳感模塊
應變式:350Ω橋路(溫度系數<±0.005%/℃)
電感式:差分線圈(分辨率0.01μm)
接口模塊
數字輸出:EtherCAT(同步抖動<100ns)
機械接口:ISO 9409-1標準法蘭
動態測量場景
振動測量(0-5kHz帶寬)
旋轉部件監測(軸向跳動<50μm)
生產線在線檢測(IP67防護)
特殊環境適用
高溫型(-196℃~+300℃)
真空版(10??Pa工況)
防爆型(ATEX Zone 0)
智能升級方向
接觸力自適應調節(PID控制)
磨損自診斷(剩余壽命預測)
溫度自補償(嵌入式PT100)
新型材料應用
碳纖維彈性體(重量減輕60%)
形狀記憶合金(自動零點校準)
納米涂層(摩擦系數降低80%)
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